БелГИМ предоставляет предприятиям и организациям услуги по новым видам измерений в области спектральной эллипсометрии с помощью эталонного эллипсометра Horiba UVISEL Plus. В комплекте с эллипсометром имеются меры толщины тонких пленок производства национального метрологического института США NIST с сертификатами калибровок. Таким образом обеспечивается прослеживаемость измерений тонких пленок к международным единицам SI.

Спектральная эллипсометрия позволяет определить ряд свойств тонких пленок, включая:

• толщину пленки;
• толщину границы раздела;
• оптические постоянные (n, k);
• состав пленки;
• оптическую ширину запрещенной зоны;
• кристалличность;
• градацию;
• анизотропию;
• однородность по глубине и площади.

С помощью эллипсометрии можно измерять толщину пленок, в том числе и многослойных, от нескольких долей нанометра до десятков микрометров. Эллипсометрия позволяет определять несколько свойств пленки одновременно, быстро и без пробоподготовки. Она наиболее точна для тонких пленок толщиной менее 10 нм и покрывает спектральный диапазон от 190 до 2 100 нм.

Возможность эллипсометрии измерять толщину тонких пленок (оксид кремния на кремнии) с точностью до сотых долей нанометра очень важна для микроэлектронной промышленности.

Измерения в области спектральной эллипсометрии, проводимые с применением эталонного эллипсометра Horiba UVISEL Plus, дают возможность предприятиям проводить калибровку своих эталонных мер толщины тонких пленок для калибровки рабочих эллипсометров.

Основные характеристики спектрального эллипсометра Horiba UVISEL Plus